渦電流式変位センサ 特徴
干渉が発生するのは 渦電流プローブは 互いに近くに取り付けられます。 静電容量センサーと渦電流センサーの検知フィールドの形状と反応性の違いにより、テクノロジーには異なるプローブ取り付け要件があります。 渦電流プローブは、比較的大きな磁場を生成します。 フィールドの直径は、プローブの直径の少なくとも9倍で、大きなプローブの場合はXNUMXつの直径よりも大きくなります。 複数のプローブが近接して取り付けられている場合、磁場は相互作用します(図XNUMX)。 この相互作用により、センサー出力にエラーが発生します。 この種の取り付けが避けられない場合、次のようなデジタル技術に基づくセンサー ECL202 隣接するプローブからの干渉を低減または除去するために、特別に較正することができます。 渦電流プローブからの磁場も、プローブの後ろで直径約10倍に広がります。 この領域にある金属物体(通常は取り付け金具)は、フィールドと相互作用し、センサー出力に影響します(図XNUMX)。 近くの取り付けハードウェアが避けられない場合は、取り付けハードウェアを使用してセンサーを較正し、ハードウェアの影響を補正できます。 図10. 取り付け金具 渦電流を妨げる プローブ磁場。 容量性プローブの電界は、プローブの前面からのみ放出されます。 フィールドはわずかに円錐形であり、スポットサイズは検出エリアの直径よりも約30%大きくなります。 近くの取り付けハードウェアまたは他のオブジェクトがフィールド領域にあることはめったにないため、センサーのキャリブレーションには影響しません。 複数の独立した静電容量センサーが同じターゲットで使用されている場合、11つのプローブからの電界がターゲットに電荷を追加しようとしている間に、別のセンサーが電荷を除去しようとしています(図XNUMX)。 ターゲットとのこの競合する相互作用により、センサーの出力にエラーが発生します。 この問題は、センサーを同期することで簡単に解決できます。 同期により、すべてのセンサーの駆動信号が同じ位相に設定されるため、すべてのプローブが同時に電荷を追加または除去し、干渉が排除されます。 Lion Precisionの複数チャネルシステムはすべて同期されているため、このエラーソースに関する心配はありません。 図11.
渦電流式変位センサ 波形
1mT〔ミリ・テスラ〕) 3)比透磁率と残留応力の影響 先にも述べたように、比透磁率や残留応力は連続的に容易に測定できるものではなく、実機ロータに対して測定することは現実的ではありません。 しかし、エレクトリカルランナウトの大きな要因として比透磁率と残留応力の影響が考えられるため、ここでは、試験ロータによる試験結果を基にその影響の概要を説明します。 まず、図12は、試験ロータの各測定点における比透磁率と変位計の出力電圧の相関を示したものです。 ここで相関係数:γ=0. 93と大きな相関を示しており、比透磁率のむらがエレクトリカルランナウトに影響していることが分かります。 次に、図13は、試験ロータの各測定点における残留応力のばらつきと変位計出力電圧の変化量の関係を示したものです。 ここでも相関係数:γ=0. 渦電流式変位センサの概要 | センサとは.com | キーエンス. 96と大きな相関を示しており、残留応力のばらつきがエレクトリカルランナウトに影響していることが分かります。 さらに、ここでエレクトリカルランナウトの主要因と考えられる比透磁率と残留応力は図14に示すように比較的大きな相関を示すことが分かります。 また、これらの試験より、ターゲットの表面粗さが小さいほど、比透磁率と残留応力のバラつきが小さくなるという結果を得ています。 これらの結果より、「表面粗さを小さく仕上げる」⇒「比透磁率と残留応力のバラつきが小さくなる」⇒「エレクトリカルランナウトを小さく抑える」という関係が言えそうです。 ただし、十分に表面仕上げを実施し、エレクトリカルランナウトを規定値以内に抑えたロータであっても、その後残留応力のばらつきを生じるような部分的な衝撃や圧力を与えた場合には、再びランナウトが生じることがあります。 4)エレクトリカルランナウトの各要因に対する許容値 API 670規格(4th Edition)の6. 3項では、エレクトリカルランナウトとメカニカルランナウトの合成した値が最大許容振動振幅の25%または6μmのどちらか大きい方を超えてはならないと規定しています。 また、現実的にはランナウトを実測して上記許容値を超えるような場合には、脱磁やダイヤモンド・バニシング処理などにより結果を抑えるように規定しています。 ただし、脱磁は上記の「許容残留磁気」の項目でも述べたように、現実的にはその効果はあまり期待できないと考えられます。 一方、ダイヤモンドバニシングに関しては、機械的に表面状態を綺麗に仕上げるというだけでなく、ターゲット表面の比透磁率と残留応力の均一化の効果も期待できるため、これによりエレクトリカルランナウトを減少させることが考えられます。 5)渦電流式変位センサにおける磁束の浸透深さ ターゲット表面における渦電流の電流密度を J0[A/m2]とし、ある深さ x[m]における渦電流の電流密度を J[A/m2]とすると、J=J0・e-x/δとなり、δを磁束の浸透深さと呼びます。 ここで、磁束の浸透深さとは渦電流の電流密度がターゲット表面の36.
渦電流式変位センサ デメリット
イージーギャップは鉄、ステンレス、アルミとの距離を非接触で測定する渦電流式変位計です。 耐環境性に優れたセンサ センサ材質にSUS+PPS樹脂を使用しました。保護等級IP67、耐熱105℃を実現した耐環境性に優れたセンサです。(オプションで耐熱 130℃にも対応可能) 簡単キャリブレーション設定 簡単なティーチング作業で直線性誤差±0. 15%F. S. 以下を実現します。 (※検出体"鉄"を5点キャリブレーションした場合) ティーチングは、任意の位置、任意の点数(2〜11点)で設定可能です。 また、ステンレス鋼、アルミなどの非磁性金属にも対応しています。 温度ドリフトを低減 温度補正機能により温度ドリフト±0. 015%F. 渦電流式変位センサ 波形. /℃以下を実現します。 検出体(鉄)との距離が定格検出範囲の1/2以内の場合 温度測定機能 センサヘッド部の温度をモニタできます。 センサの健全性の確認が可能になり、生産ラインの品質安定化に役立ちます。 温度表示状態 最大20mまで延長 センサーケーブルは最大20mまで延長できます。また、コネクタ部には金メッキを使用し、接触部の信頼性を高めています。 メンテナンス効率の向上 センサやアンプが故障してもそれぞれ個別に交換ができます。 タッチロールもご用意 アプリケーションで紹介しているタッチロールもエヌエスディにてご用意しています。
商品特長詳細 超高速サンプリング25μs 高分解能0. 02%F. S. さらに多彩なデータ収集・処理を新提案 CE 、Korean KC を取得しています。 CE: マーキング適合 直線性±0. 3%F. をステンレス・鉄で実現 直線性は±0. 3%F. を実現。しかも、ステンレスと鉄に対応していますので、ワークの材質に影響されない正確な測定が可能です。 また各材質(ステンレス・鉄・アルミ)に対応した特性をコントローラに入力済みですので、各材質に最適な設定を、切り換えてご使用いただけます。 25μs(40, 000回/秒)の超高速サンプリングを実現 25μsの超高速サンプリングでワークの高速な変位も見逃しません。 0. 07%F. /℃の温度特性で温度変化に強い センサヘッドとコントローラの組み合わせで、0. /℃を実現。周囲温度の変化に強い、安定した微小変位測定が可能です。 分解能0. の高精度測定を実現 高分解能0. で、微小変位を高精度に測定します。 特に、0. 測定原理と特長｜ピーアンドシー株式会社. 8mm検出用センサヘッドGP-X3Sでは、0. 16μmという超微小変位を判別することができます。(64回平均にて) IP67Gのセンサヘッドバリエーション 超小型φ3.