粗熱を取る とは: 大阪 から 横浜 バス 昼間

Friday, 5 July 2024

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クライオポンプに利用されている冷凍サイクル クライオポンプの構造をCRYO-U8Hを例にとり説明する。 クライオポンプに使用される冷凍機は2段式であり、1段目は冷凍能力が大きく80K以下に冷却することができ、2段目は冷凍能力は小さいが10~12Kに冷却することができる。 15Kクライオパネル(1)(凝縮パネル)と15Kクライオパネル(2)(吸着パネル)は冷凍機の2段ステージに取り付けられており、冷凍能力の大きい1段ステージに取り付けられた80Kシールドと80Kバッフルにより、室温の放射(輻射)熱から保護されている。 図2-2はG-Mサイクルの作動原理とP-V線図(膨張室の圧力Pと容積Vの関係を示したグラフ)を示したものである。 2-1.

クライオポンプの水に対する排気速度 、N 2 (凝縮性気体)に対する排気特性 N 2 、Ar、CO、O 2 等の比較的蒸気圧が高い気体は、80Kバッフルや80Kシールドでは、凝縮せず、 20K以下の温度で凝縮し排気される。 クライオ面の温度が20K以下であれば、凝縮性の気体に対する凝縮面の捕獲確率は1であり、また、分子流領域での吸気口からクライオパネルまでのコンダクタンスは一定であるため、分子流領域でのクライオポンプの排気速度は一定となる。 クライオポンプの排気速度のカタログ値は、分子流領域での窒素に対する排気速度で与えられる。 窒素以外の分子量Mの凝縮性の気体に対する排気速度は、次式から計算で求められる。 SM=SN 2 ×(28/M) 1/ 2 (L/s)・・・・・・・(1) SN 2 :窒素に対する排気速度(L/s) 例えば、CRYO-U8Hのアルゴンに対する排気速度は、表6-3からSN 2 =1700(L/s)であり、アルゴンの分子量はM=40であるので、この式から、 Sar=1700X(28/40) 1 / 2 =1400L/s と計算される。 図の窒素に対する排気速度 表3. 各種クライオポンプの窒素に対する排気速度(カタログ値) 気体の流れが分子流から中間流(遷移流)になると、コンダクタンスは圧力に比例するようになるため排気速度は増加してくる。 しかし、圧力の増加とともにクライオポンプへの入熱量も増加してくるため、熱負荷が冷凍機の冷凍能力を上回った時点でクライオポンプの排気の限界になる。 アルバック・クライオでは、 この熱負荷によりクライオパネルの温度が20Kに達した時の流量を最大流量と定義している。(図6-1の○印の点)。 最大流量は、冷凍能力を大きくすれば増やすことはできるが、冷凍能力をいかに強くしても凝縮層の熱伝導率が有限であるため、 厚さ方向に温度勾配ができる。 凝縮層の表面温度が高くなりすぎ限界を超えると、気体は凝縮しなくなるため、排気速度は0となり、 物理的な排気の限界となる。 2-3. H 2 、He、Ne (非凝縮性気体)に対する排気速度 H 2 、He、Neは最も蒸気圧の高い気体で、20K程度では蒸気圧が高すぎて凝縮によって排気することが出来ないため非凝縮性の気体とも呼ばれている。 これらの気体は凝縮によって排気することが出来ないため、20K以下に冷却された吸着剤で吸着により排気される。 吸着剤が非凝縮性の気体を吸着するにつれて飽和してくるため、排気速度は徐々に低下してくる。 排気速度が初期値の80パーセントまで低下した時のそれまでに排気した気体量を排気容量と定義している(後述)。 非凝縮性気体のうち、水素は放出ガスの重要な成分であり、応用上重要な気体であるため、詳細に調べられ仕様が決定されている。 ネオンはほとんど使用例がないためデータは少ない。 また、ヘリウムは最も吸着しにくい気体であり、水素の1/100~1/1000程度しか排気できないため、クライオポンプで積極的に排気することは推奨できない。 表の水素に対する排気性能 図の水素に対する排気速度 3.

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